XRF دستگاهي است براي اندازه گيري طول موج و شدت امواج فلورسانس ساطع شده از اتمهاي مختلف در نمونه كه نتيجه آن شناسايي نوع و ميزان عناصر ماده مي باشد. دستگاه XRF كاربرد وسيعي در بسياري از علوم دارد و امروزه بعلت پيشرفتهاي شگرف در اين زمينه بصورت يكي از وسايل ضروري در آزمايشگاههاي تحقيقاتي در آمده است. XRF با سرعت عمل بسيار زياد قادر است عناصر بسياري را بصورت كيفي و كمّي مورد آناليز قرار دهد. بعلت سرعت زياد و عدم مصرف مواد شيميايي روش ارزاني نسبت به بقيه روشهاي آناليزي بوده و محيط زيست را نيز آلوده نمي سازد.